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電子標準氣體
產品規格:
組分名稱
 濃度范圍
 平衡氣
H2 100ppm ~ 4% N2
HCl 5% He
HCl 5% H2 1% He
HCl 1~5% N2
SiH4 10ppm ~ 15% H2、N2、Ar、He
PH3 10ppm ~ 15% H2、N2、Ar、He
B2H6 10ppm ~ 15% H2、N2、Ar、He
AsH3 10ppm ~ 15% H2、N2、Ar、He
HCl 10ppm N2、He
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